歡迎來(lái)到普泰克（上海）制冷設(shè)備技術(shù)有限公司網(wǎng)站！歡迎來(lái)到普泰克（上海）制冷設(shè)備技術(shù)有限公司網(wǎng)站！
18701761086
當(dāng)前位置：首頁(yè) > 產(chǎn)品中心 > 半導(dǎo)體溫控 > chiller高精度換熱溫控單元
簡(jiǎn)要描述：Chiller高精度換熱溫控單元PHE系列產(chǎn)品，可實(shí)現(xiàn)對(duì)設(shè)備出口溫度的精準(zhǔn)控制，控溫精度在±0.1℃以內(nèi)。產(chǎn)品主要應(yīng)用于半導(dǎo)體制程中CVD/PVD、Etch和IMP精確控溫領(lǐng)域，激光、醫(yī)療和精密實(shí)驗(yàn)室溫控方案。產(chǎn)品穩(wěn)定性高。循環(huán)系統(tǒng)包括循環(huán)泵、電加熱管、板式換熱器、水箱、排氣閥、單向閥、熱電阻、管道等組成。控制系統(tǒng)采用PID控制技術(shù)，高清觸摸屏顯示，設(shè)有多項(xiàng)保護(hù)功能，確保設(shè)備安全運(yùn)行。通過(guò)機(jī)組自身的制冷與加熱，向外界輸送載熱流體，滿足工藝條件要求。
產(chǎn)品型號(hào)：PHE產(chǎn)品產(chǎn)地：更新時(shí)間：2025-06-26訪 問(wèn) 量：59產(chǎn)品分類(lèi)
聯(lián)系我們
普泰克（上海）制冷設(shè)備技術(shù)有限公司 公司地址：上海市奉賢區(qū)肖灣路511號(hào)2幢3層掃一掃 更多精彩
微信二維碼
網(wǎng)站二維碼
